分析概略

Raman（ラマン分光法分析）は、化学構造の決定と振動分光法を使用した化合物の同定を可能にします。RamanはFTIRよりも優れた空間分解能を持ち、1µmの範囲までのより小さな寸法の分析を可能にします。RamanとFTIRは不明な有機材料の特定に適した分析手法です。

※各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます。

対象試料の事例

• 半導体における有機遺物
• 有機材料（粉体・バルク・表面・パウダー・粒子・膜）
• 不純物（抽出物・脱ガスした製品/物質・残留物）
• 液体・溶液（含水材料・有機容積）
• 単結晶

原理 / 特徴

• 化学結合状態分析可能
• 空間分解能：>1um
• 深さ分解能：1～5um
• 応力測定（結晶方位にかかわらず測定可能）
• 単色化された可視光レーザー (e.g.、HeNe or Ar+)
• ラマン発光（分子振動が励起されて生じる発光）を測定
• ラマンスペクトルはラマン活性の振動に依存

Raman：振動スペクトル法

微小粒子の分析

FTIRでは小さすぎて分析できない（1um）粒子をRamanで分析。SEMだと外観像のみでポリマーとは判別ができないが、Ramanを用いるとスペクトルよりポリマーと判明できます。

RamanとFTIRで不足情報を補完

分析に適した試料量 / 形状

• 粒子・欠陥サイズ：1um以上 (例外：多大なラマン散乱を生じる材料)
• 膜厚：0.8 µm以上
• 基板材料からの情報が、測定対象の妨害になる場合があるので注意が必要
• 純金属・Si・ガラス対応可能
• 炭素リッチ材料が基板・基材に含まれる場合、強い炭素強度が妨害になる

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