分析概略

LA-ICP-MS（Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry：レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析）はパルスレーザーにより試料を直接アブレーションして質量分析を行う分析手法です。感度に材料中の不純物を分析することができます。

※各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます。

用途事例

• 固体試料の化学分析
• 元素・安定同位体の分析とマッピング
• 試料の欠陥調査
• 深さ方向の複数元素検出

原理/特徴

• 微量成分から主成分に近い高濃度成分まで分析が可能
• 周期表の大部分の元素の測定が可能。
  (例外元素：C、N、O、F、Ne、Cl、Ar、Br、Kr、Tc、Xe、Pm、Po、At、Rn、Fr、Ra、Ac、Pa）
• 深さ方向分解能：〜1um
• 測定スポットサイズ：5～200um
• 検出下限：数10ppb
• 前処理不要で非破壊に近い分析が可能
• レーザーを用いるため、深さ方向・ライン方向・広範囲方向に分析が可能

装置構成

分析に適した試料量 / 形状

• 形状：固体（大気中測定）

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