分析概略

Kr85リーク試験（The Krypton 85 Leak Testing）は封止パッケージの気密性試験です。極めて試験時間が短く、一般的なHeリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能になります（＜10-12　atm cc /sec Air limits）。封止パッケージの気密性試験です。

※再委託サービス

対象試料の事例

• 半導体・電子デバイス
• ハイブリットデバイス
• センサー
• 医療移植片
• MEMS（Siベース）など 

用途事例

• 封止パッケージの気密性評価

原理/特徴

Kr85リーク試験はKr85（クリプトン85）を加圧して半導体デバイスのキャビティ内にトラップさせます。キャビティ内にトラップされた Kr85から放射される γ 線 を計測し、気密性を評価します。

• 短試験時間
• Heリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能（＜10-12　atm cc /sec Air limits）

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