波長分散型蛍光X線分析装置
（WD-XRF: Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence）

試料表面にＸ線を照射し、試料中の元素から発生する蛍光X線を分光結晶を使って波長毎に分離して検出することにより、エネルギー分散型の蛍光X線分析装置(ED-XRF)よりも優れた分解能と精度で元素の種類と量を調べる手法です。

• ED-XRFよりも軽元素まで精度よく分析できます
• 大型試料(φ400×50mm)をそのまま測定できます
• r-Θ大型ステージを使った面分析ができます
  　 

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動作原理 | 波長分散型蛍光X線分析装置（WD-XRF）

試料にX線を照射して原子の内殻電子を励起し、元素固有の波長λを持つ蛍光X線を発生させます。この蛍光X線を予め面間隔 d の分かった分光結晶に入射し、ブラッグの式 2dsinΘ=nλを満たす角度Θを検出器の角度2Θで測定することで元素の種類を知ることができ、蛍光X線の強度から元素の量を知ることができます。

装置仕様 | 波長分散型蛍光X線分析装置（WD-XRF）

分析事例 | 波長分散型蛍光X線分析装置（WD-XRF）

基板上の腐食性物質

電子機器基板の故障原因を調査するために、基板を破壊せずにそのまま分析して極微量の腐食性物質の有無を確認することができます。
図の例では、10×14cmの基板をそのまま分析し、微量の塩化ナトリウムが付着していることが判明しました。

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