分析概略

GDMS（Glow Discharge Mass Spectrometry：グロー放電質量分析） は微量不純物（ppm-ppb wt）の評価に適した手法で、周期表上の安定同位体を持ちガス成分（＊）を除くほとんどの元素を同時測定する事ができます。試料は導電性を持つものが好ましいですが、EAG Laboratoriesでは導電性試料だけではなく、半導体・絶縁物を安定に測定できる技術を保有しており、酸化物・窒化物・炭化物の中の不純物分析が可能です。

※ガス成分（水素（H）・炭素（C）・窒素（N）・酸素（O）のバルク分析はIGA分析の併用を推奨します。

対象試料の事例

• 高純度金属
• 合金
• カーボン及び黒鉛製造品
• 各種半導体材料、パワーデバイス
• 二次電池正極材原材料
• 酸化物・炭化物・窒化物・硫化物等のセラミックス
• 太陽電池用シリコン
• レアメタル・レアアース
• 主成分不確定な未知の材料

原理/特徴

固体試料を陰極としてグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、放出された中性粒子をプラズマ内のArや電子との衝突によってイオン化させます。

• 周期律上で安定同位体を持つ殆どの元素(Li-U)の測定が可能
• 多くの元素に対し、ppb-%レベルの測定が可能
• マトリックス効果が小さく、標準試料の無い未知の材料でも定量分析に近い半定量分析が可能
• 粉末、ワイヤー、薄膜等、様々な形態でも補助材料を用いる事で直接測定が可能
• 導電性を確保する事で、半導体材料や絶縁物でも直接測定が可能 

装置構成

サンプル形状ごとの測定方式

【ピンセル方式】

• スパッタ領域全てを見る事が出来るため、バルクとしての試料情報を得るのに適している

【ピンセル方式：推奨される形状】

• 酸化物は試料を固定するためにTaスプーンを使用します。そのため、Taの測定はできません。また、Taスプーンの試料前処理作業が必要になります。

【フラットセル方式】

• 薄いフイルム状や平らな表面のサンプルに効果的
• 粉末はフラットセルに固定し分析
• 基板上の薄膜も分析可能（最低数umの厚さが必要）
• 深さ方向分析が可能

【フラットセル方式：推奨される形状】

推奨サンプル量/形状

• 推奨量：約3g以上
• 形状：バルク・粉末・不定形・ピン形状

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