La spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif (ICP-MS) est l'une des techniques spectrométriques les plus importantes. Technique multi-élémentaire d'une sensibilité extrêmement élevée et d'une large gamme dynamique linéaire, elle permet l'analyse simultanée des constituants principaux et des éléments à l'état de traces. Elle est capable d'analyser des éléments allant du lithium à l'uranium et peut être appliquée aux solutions et aux solides. Les échantillons solides peuvent être analysés directement (en couplant l'ICP-MS à un système d'ablation laser UV) ou après dissolution ou digestion par une combinaison d'acides, de chauffage et/ou de pression.
Les méthodes de digestion classiques sont : la digestion par micro-ondes (système clos préservant ainsi les composés potentiellement volatils), la digestion Carius (système clos), la calcination (four), la digestion sur plaque chauffante et la digestion par bombe Parr. La technique la plus appropriée est choisie pour chaque analyse en fonction de la composition et des caractéristiques de l’échantillon. La solution obtenue est ensuite nébulisée, puis l’aérosol généré est transporté au cœur d’un plasma d’argon à couplage inductif, où des températures d’environ 9 000 K sont atteintes. À ces températures élevées, la solution nébulisée se vaporise et les composés sont atomisés et ionisés. Les ions générés dans le plasma d’argon à haute température sont ensuite accélérés dans un analyseur de masse pour l’analyse élémentaire et isotopique. Les mesures d’intensité sont converties en concentration élémentaire par comparaison avec des solutions étalons.
Le développement (et/ou la validation) de méthodes est généralement effectué afin d'établir les protocoles appropriés pour l'analyse des éléments d'intérêt dans différentes matrices, avec une précision, une exactitude, des limites de détection et de quantification acceptables, ainsi qu'une robustesse suffisante. Cette technique est particulièrement performante pour l'analyse chimique quantitative de solides et de liquides de haute pureté.